| Anwendung | Halbleiterindustrie |
|---|---|
| Automatisierungs-Grad | Automatisch |
| Kapazität | hängt vom Modell ab |
| Klemmkraft | hängt vom Modell ab |
| Steuerungssystem | PLC |
| Schimmelpilzleben | 500,000 Schüsse oder mehr |
|---|---|
| Laufsystem | Heißer Läufer oder kalter Läufer |
| Torart | Grenzgate, Pin Point Gate, Sub Gate, Ventilator Gate usw. |
| Schimmelpilzbasis | LKM, DME, HASCO oder angepasst |
| Formstandard | DME, HASCO, LKM oder individuell angepasst |